Bilkent Üniversitesi Fizik Bölümü öğretim üyelerinden ve Bilkent Üniversitesi Ulusal Nanoteknoloji Araştırma Merkezi’nde (UNAM) araştırma çalışmalarını yürüten Dr. Öğr. Üyesi Onur Tokel’in “Uzamsal Işın Modülasyonu ve Anizotropik Tohumlama ile Silisyum İçinde Lazer Nanofabrikasyonu” başlıklı araştırması, önemli bilimsel yayınlardan Nature Communications Dergisi’nde yayınlandı.
UNAM’ın yöneticiliğini üstlendiği ve TÜBİTAK 1004 Mükemmeliyet Merkezi Programı kapsamında desteklenen A1-1004 Platformu’nda yürütülen Ar-Ge projelerinden “Ultra İnce, Mikrokovuklu/Mikrokanallı Cam Üretimi ve İşlenmiş Cam Teknolojileri”nde görevli Dr. Onur Tokel, Nature Communications Dergisi’nde yayınlanan araştırmasında silisyum içinde kontrollü nano-üretim yeteneğini geliştirmiştir. Bu çalışma, mevcut yöntemlerin ötesine geçerek silisyum içinde 100 ± 20 nm boyutlarında gömülü nanoyapılar oluşturmayı başarmıştır ve üç-boyutlu nanofotonik sistemler, mikro/nanofluidik sistemler ve 3B elektronik-fotonik entegre sistemler için önemli bir adım olarak görülmektedir.
Dr. Onur Tokel’in çalışmasına aşağıdaki bağlantıdan ulaşabilirsiniz:
https://www.nature.com/articles/s41467-024-49303-z
Bu çalışma aynı zamanda IEEE Spectrum dergisinde haberleştirilmiştir:
https://spectrum.ieee.org/photonics-beneath-silicon-surface
